| 发明名称 |
IONENIMPLANTATIE-INRICHTING. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL7804691(A) |
申请公布日期 |
1978.11.07 |
| 申请号 |
NL19780004691 |
申请日期 |
1978.05.02 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. TE ARMONK, NEW YORK, VER.ST.V.AM. |
发明人 |
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| 分类号 |
H01J37/02;H01J37/244;(IPC1-7):H01J37/30;H01L21/26 |
主分类号 |
H01J37/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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