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发明名称 SPOSOB WYTWARZANIA ELEMENTU POLPRZEWODNIKOWEGO
摘要
申请公布号 PL204819(A1) 申请公布日期 1978.11.06
申请号 PL19780204819 申请日期 1978.02.22
申请人 发明人
分类号 H01L29/73;G03F7/40;H01L21/027;H01L21/283;H01L21/312;H01L21/331;H01L21/56;H01L23/31;(IPC1-7):H01L/ 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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