发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要 PURPOSE:To improve reverse dielectric strength characteristics of diodes, transistors and thyristors having shallow junctions by beforehand providing a deep junction around the shallow junction.
申请公布号 JPS53126870(A) 申请公布日期 1978.11.06
申请号 JP19770042286 申请日期 1977.04.12
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 ODA KATSUHIRO;ITOU TAKESHI
分类号 H01L27/06;H01L21/331;H01L21/8222;H01L29/73;H01L29/861 主分类号 H01L27/06
代理机构 代理人
主权项
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