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发明名称 AUTOMATIC BRIGHTNESS CONTROLLER OF SCANNTYPE ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPS53126256(A) 申请公布日期 1978.11.04
申请号 JP19770041883 申请日期 1977.04.11
申请人 HITACHI LTD 发明人 YAMADA OSAMU
分类号 H01J37/22;H01J37/28 主分类号 H01J37/22
代理机构 代理人
主权项
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