| 发明名称 |
EPITAXIAL VAPOR GROWTH METHOD OF SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS53126261(A) |
申请公布日期 |
1978.11.04 |
| 申请号 |
JP19770040955 |
申请日期 |
1977.04.12 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
KIYONO TSUTOMU;SHIBATOMI AKIHIRO |
| 分类号 |
C30B25/12;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/223;H01L21/31 |
主分类号 |
C30B25/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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