多段気泡搭加湿器

摘要

供給液が第２段加湿器チャンバに流入して第２段加湿器浴を形成する。第２段加湿器チャンバからの供給液の第１残余が、次いで第１段加湿器チャンバに流入して第２段浴の温度未満の温度を有する第１段加湿器浴を形成する。供給液の第２残余が次いで第１段加湿器から除去される。一方、キャリアガスが第１段加湿器浴に注入され、第１段加湿器浴を通じて気泡化され、蒸気の形態の蒸発可能成分を供給液の第１残余から取集して、キャリアガスを部分的に加湿する。部分的に加湿されたキャリアガスが次いで第２段加湿器浴を通じて気泡化され、キャリアガスがより多くの蒸発した成分を供給液から取集して、キャリアガスを第２段加湿器チャンバからの除去の前にさらに加湿する。【選択図】図４