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发明名称
摘要
申请公布号 FR2331039(B1) 申请公布日期 1978.11.03
申请号 FR19760029489 申请日期 1976.09.22
申请人 IBM 发明人
分类号 G01R19/08;G01Q30/02;G01R31/302;G01T1/29;G21K5/04;H01J37/04;H01J37/244;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):G01T1/29;G21K5/00 主分类号 G01R19/08
代理机构 代理人
主权项
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