TEMPERATURE CONTROL UNIT,申请号JP19770040515-传众专利搜索

发明名称	TEMPERATURE CONTROL UNIT
摘要	PURPOSE:To control the liquid temperature with a heat exchanger and a temperature control unit, by circulating a fluid between a substrate holder and the heat exchanger.
申请公布号	JPS53125762(A)	申请公布日期	1978.11.02
申请号	JP19770040515	申请日期	1977.04.08
申请人	NIPPON ELECTRIC CO	发明人	FUJI TATSUO
分类号	C23C14/50;C23C14/54;H01L21/203;H01L21/205	主分类号	C23C14/50
代理机构		代理人
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