SPUTTER ETCHING METHOD AND CONTAINER USED FOR IT,申请号JP19770040520-传众专利搜索

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发明名称	SPUTTER ETCHING METHOD AND CONTAINER USED FOR IT
摘要
申请公布号	JPS53125769(A)	申请公布日期	1978.11.02
申请号	JP19770040520	申请日期	1977.04.08
申请人	NIPPON ELECTRIC CO	发明人	TAJIMA MASAO;KUROKI YUKINORI;MIZUSAWA KOUJI
分类号	H01L21/302;H01L21/3065	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
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