| 发明名称 |
FORMING METHOD OF INTERNAL WIRING FOR SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS53125786(A) |
申请公布日期 |
1978.11.02 |
| 申请号 |
JP19770040521 |
申请日期 |
1977.04.08 |
| 申请人 |
NIPPON ELECTRIC CO |
发明人 |
YAMADA KUNIO;MORIMOTO MITSUTAKA;MUTA HIROKI |
| 分类号 |
H01L21/768;H01L21/302;H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/768 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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