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发明名称 FLOW CONTROLLER AND DEVICE
摘要
申请公布号 JPS53125588(A) 申请公布日期 1978.11.01
申请号 JP19770039324 申请日期 1977.04.06
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 ONO RITSUTA
分类号 G05D9/12;G05D7/00;G05D9/00 主分类号 G05D9/12
代理机构 代理人
主权项
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