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发明名称
摘要
申请公布号
JPS53137767(U)
申请公布日期
1978.10.31
申请号
JP19770042192U
申请日期
1977.04.04
申请人
发明人
分类号
H01L21/673;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/223;H01L21/306;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68
主分类号
H01L21/673
代理机构
代理人
主权项
地址
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