| 摘要 |
본 발명은 기판을 지지하는 기판 지지 유닛으로서, 승하강이 가능하여, 상기 기판을 승하강 이동시키는 이송 테이블을 구비하는 승하강 구동부, 상하 방향에서, 상기 이송 테이블의 일측에 위치하며, 일면에 상기 기판이 지지되는 지지대, 이송 테이블과 지지대 사이를 연결하도록 설치되며, 탄성력을 가지는 탄성 기구를 포함한다.따라서, 본 발명의 실시형태들에 의하면, 본 발명에서는 상부 지지대를 금속 또는 금속 합금 등과 같은 강재로 제조함에 따라, 상부 기판이 지지되는 상부 지지대의 지지면이 종래와 같은 탄성체 플레이트의 지지면에 비해 평면도가 좋다. 즉, 상부 기판이 지지되는 본 발명의 상부 지지대의 평면도가 종래와 같이 연성을 가지는 탄성체 플레이트에 비해 향상된다.그리고, 상부 지지대와 상부 이송 테이블 사이를 연결하도록 탄성 기구를 설치함에 따라, 상부 기판이 하부 기판 상에 합착될 때, 상기 상부 기판의 기울기 또는 영역별 표면 높이 조절이 가능하여, 상기 상부 기판이 하부 기판과 평행하도록 합착시킬 수 있다. 이에 따라, 상부 기판과 하부 기판 간의 정렬 틀어진 상태로 상부 기판과 하부 기판이 합착되는 것을 억제 또는 방지할 수 있다. |
