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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS53124087(A) 申请公布日期 1978.10.30
申请号 JP19770039213 申请日期 1977.04.05
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 NAGAI SEIICHI
分类号 H01L29/74;H01L21/761;H01L27/00 主分类号 H01L29/74
代理机构 代理人
主权项
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