发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS53124065(A) 申请公布日期 1978.10.30
申请号 JP19770039286 申请日期 1977.04.05
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 YAMASHITA SOUICHIROU;MURATA TADAHIKO
分类号 H01L21/60;H01L21/28;H01L21/3213 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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