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经营范围
发明名称 WAFER HOLDING METHOD
摘要
申请公布号 JPS53123669(A) 申请公布日期 1978.10.28
申请号 JP19770038697 申请日期 1977.04.05
申请人 FUJITSU LTD 发明人 OOSHIO SHIYUUZOU;KAI JIYUNICHI;KITAHARA YOSHIHIKO;ICHIKAWA TOSHIROU
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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