| 摘要 |
본 발명은 마이크로리소그래피(microlithography) 또는 마이크로리소그래픽 패턴들에 대한 검사와 같은, 표면 상의 패턴을 기록하거나 판독하는 것에 관련된 것이다. 특히, 출원인은 예를 들면, 병렬적으로 조정되는 복수의 광, 전자 또는 입자 빔들과 같은, 표면 전체에 가로지른 성긴(sparse) 2D 포인트 어레이들 또는 그리드들을 스캐닝하는 것에 의해 이미지들을 기록하거나 판독하는 시스템들을 개시한다. 스캐닝과 반복되는 판독 또는 기록은 워크피스(workpiece) 상의 조밀한 픽셀 또는 스폿 그리드(spot grid)를 만든다. 그리드는 다양한 어레이들에 의해 만들어질 수 있다: 즉 예를 들어, 레이저 또는 LED 어레이들과 같은 광원들 어레이에 의해, 각 렌즈렛(lenslet)이 그 자신의 변조기(modulator)를 갖는 렌즈렛 어레이에 의해, 입자 빔들을 위한 조리개 판(aperture plate)에 의해 또는 근거리장(near-field) 방사체들이나 기계 프로브(probe)의 어레이들에 의해 만들어질 수 있다. 판독 시스템들에서, 포인트 그리드는 성긴 포인트 매트릭스 조명(illumination) 및/또는 각 탐지기(detector) 엘리먼트가 단지 하나의 고립된 스폿만 보는 탐지기 어레이에 의해 만들어질 수 있다. 큰 어레이들의 사용의 배후 아이디어는 스루풋(throughput)을 개선할 수 있는 것이다. 그러나, 특정한 크기의 어레이들 이상에서 이전에 공지된 방식들은 그들 자신의 트랙(track)에 빠지고 몇 번이고 동일한 데이터를 반복하는 것을 시작하기 때문에 스루풋은 어레이 크기와 함께 스케일링하지 않는다. 본 출원은 어레이 크기에 비례하여 스루풋의 스케일링을 보전하면서 큰 어레이들을 갖는 워크피스들을 스캐닝하는 방법을 개시한다. 특히 본 출원은 펄스들에서 적어도 100×100 엘리먼트들의 어레이들 사이의 패턴 정보를 워크피스 표면 상의 스폿들로 중계하는 방법을 개시한다. 방법은 표면 상의 셀 내에 미리 결정된 수의 격자 간 스폿들의 규칙적인 분포를 만드는 병진 벡터에 의해 펄스들 사이에 어레이들이 움직이는 것을 포함한다. 셀은 두 개의 같은 길이의 직각 벡터를 갖는 어레이의 단위에 의해 정의될 수 있다. 본 발명의 특정한 실시예들에서, 셀은 제 1 위치에서 어레이를 갖는 엘리먼트들로부터 투영된 스폿들에 의해 정의되는 코너들을 갖고 있고, 특정한 격자 간 스폿들의 과도한 반복이 1회의 패스로 표면을 큰 어레이가 둘러봄으로써 단지 8회로 제한된다. |
