| 发明名称 |
POSITIONIERVORRICHTUNG UND DAMIT AUSGERUESTETES OPTISCHES PROJEKTIONSSYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE2817364(A1) |
申请公布日期 |
1978.10.26 |
| 申请号 |
DE19782817364 |
申请日期 |
1978.04.20 |
| 申请人 |
THOMSON-CSF,S.A. |
发明人 |
GERARD,RENE;LACOMBAT,MICHEL |
| 分类号 |
G03B27/32;G01B11/02;G02B27/00;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03B27/42 |
主分类号 |
G03B27/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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