发明名称 VERFAHREN ZUR STEUERUNG DER WANDERUNG EINES CHEMISCHEN STOFFES IN EINEM FESTKOERPER
摘要
申请公布号 DE2816517(A1) 申请公布日期 1978.10.26
申请号 DE19782816517 申请日期 1978.04.17
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 BLANCHARD,BRUNO;LEGRESSUS,CLAUDE;MASSIGNON,DANIEL;SOPIZET,RENE;STEFANI,RENE
分类号 H01L21/263;C30B31/20;H01L21/22;H01L21/26;H01L21/322;H01L21/326;(IPC1-7):B01J17/34 主分类号 H01L21/263
代理机构 代理人
主权项
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