发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS53121489(A) 申请公布日期 1978.10.23
申请号 JP19770035454 申请日期 1977.03.31
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 HIGASHINAKAGAHA IWAO;SHIMA SHIYOUHEI;MATSUMOTO YASUO
分类号 H01L21/768;H01L21/28;H01L29/43 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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