SYSTEME DE LOCALISATION DE DEFAUTS ET DE RELEVE TOPOGRAPHIQUE DE LA SURFACE D'UN COMPOSANT DU GENRE PASTILLE SEMI-CONDUCTRICE

摘要

Système pour localiser des défauts dans la surface d'une pastille et obtenir un relevé topographique de l'état de la surface. Il comprend une grille 20 disposée sur une surface de la pastille et formant un ensemble de cellules identiques 26 disposées en rangées et colonnes. Chaque cellule comprend des moyens de codage pour identifier dans quelle rangée et quelle colonne elle se trouve. L'examen simultané de la pastille et de la grille permet de localiser défauts et composants fabriqués sur la pastille. Application à la fabrication de dispositifs semi-conducteurs ou de dispositifs contenant des domaines magnétiques.