| 发明名称 |
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS53120383(A) |
申请公布日期 |
1978.10.20 |
| 申请号 |
JP19770036287 |
申请日期 |
1977.03.30 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
TANAKA IZUMI;SHIRAI KAZUNARI |
| 分类号 |
H01L27/06;G11C11/40;H01L21/8247;H01L29/40;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792 |
主分类号 |
H01L27/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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