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发明名称
摘要
申请公布号
JPS5339378(B1)
申请公布日期
1978.10.20
申请号
JP19710041931
申请日期
1971.06.11
申请人
发明人
分类号
(IPC1-7):C23C11/16
主分类号
(IPC1-7):C23C11/16
代理机构
代理人
主权项
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