发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS53120289(A) 申请公布日期 1978.10.20
申请号 JP19770034371 申请日期 1977.03.30
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 KAWABUCHI KATSUHIRO
分类号 H01L21/76;H01L21/316 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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