MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE,申请号JP19770035866-传众专利搜索

发明名称	MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号	JPS53120264(A)	申请公布日期	1978.10.20
申请号	JP19770035866	申请日期	1977.03.29
申请人	MITSUBISHI ELECTRIC CORP	发明人	NAKAJIMA TOSHIHIRO
分类号	H01L21/22	主分类号	H01L21/22
代理机构		代理人
主权项
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