| 发明名称 |
WERKWIJZE VOOR HET BESTUREN VAN DE MIGRATIE VAN EEN CHEMISCHE STOF IN EEN VAST SUBSTRAAT. |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
NL7804102(A) |
申请公布日期 |
1978.10.20 |
| 申请号 |
NL19780004102 |
申请日期 |
1978.04.18 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE TE PARIJS. |
发明人 |
|
| 分类号 |
H01L21/263;C30B31/20;H01L21/22;H01L21/26;H01L21/322;H01L21/326;(IPC1-7):H01L21/26 |
主分类号 |
H01L21/263 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
