发明名称 WERKWIJZE VOOR HET VORMEN VAN EEN PATROONSGEWIJS AAN- GEBRACHTE POEDERLAAG.
摘要
申请公布号 NL7803907(A) 申请公布日期 1978.10.17
申请号 NL19780003907 申请日期 1978.04.12
申请人 HITACHI LIMITED TE TOKIO. 发明人
分类号 G03F7/016;G03F7/28;H01J9/227;H01J29/22;H01J29/32;(IPC1-7):H01J9/20;G03C1/54;G03C5/00 主分类号 G03F7/016
代理机构 代理人
主权项
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