发明名称 PATTERN FORMATION BY PLASMA ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPS53118372(A) 申请公布日期 1978.10.16
申请号 JP19770033615 申请日期 1977.03.26
申请人 VICTOR COMPANY OF JAPAN 发明人 KURODA JIYUNJI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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