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发明名称 SEMICONDUCTOR HEAT DIFFUSION DEVICE
摘要
申请公布号 JPS53118368(A) 申请公布日期 1978.10.16
申请号 JP19770033715 申请日期 1977.03.25
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 KINOSHITA KATSUYUKI
分类号 H01L21/223 主分类号 H01L21/223
代理机构 代理人
主权项
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