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发明名称 PRODUCTION OF MIS FIELD EFFECT TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPS53117980(A) 申请公布日期 1978.10.14
申请号 JP19770032128 申请日期 1977.03.25
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 MORIYA TAKAHIKO
分类号 H01L29/78;H01L21/225;H01L29/06 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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