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发明名称 ASSEMBLING DEVICE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS53117378(A) 申请公布日期 1978.10.13
申请号 JP19770032553 申请日期 1977.03.23
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 AGATA YOSHIO
分类号 H01L21/52;H01L21/50;H01L21/58;H01L21/68 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
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