发明名称 PRODUCTION OF PHOTO MASK
摘要 PURPOSE:To rapidly obtain a photo mask having durability and resolution equivalent to those of ordinary hard masks by making use of physical phenomena being the change in the potential, i.e., charge density, on dry plate surface for photo mask through light radiation.
申请公布号 JPS53117383(A) 申请公布日期 1978.10.13
申请号 JP19770032548 申请日期 1977.03.23
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 ITOU KAZUO;IINO TERUO
分类号 G03C5/00;G03F1/00;G03F1/54;G03F1/68;G03F1/76;G03F7/004;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/302 主分类号 G03C5/00
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利