| 发明名称 |
METHOD OF FORMING HIGH RESOLUTION FINE PATTERN AT HIGH SPEED |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS53117387(A) |
申请公布日期 |
1978.10.13 |
| 申请号 |
JP19780032450 |
申请日期 |
1978.03.23 |
| 申请人 |
WESTERN ELECTRIC CO |
发明人 |
ROJIYAA FUABIN UETSUJIUTSUDO P |
| 分类号 |
H01J37/28;H01J37/30;H01J37/302;H01J37/305;H01L21/027 |
主分类号 |
H01J37/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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