发明名称 HALBLEITERSPEICHERVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZU IHRER HERSTELLUNG
摘要
申请公布号 DE2814973(A1) 申请公布日期 1978.10.12
申请号 DE19782814973 申请日期 1978.04.06
申请人 HITACHI,LTD. 发明人 KOSA,YASUNOBU;SHIMIZU,SHINJI
分类号 H01L21/8247;H01L21/28;H01L29/51;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):G11C11/40 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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