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发明名称 IMPURITY DIFFUSION METHOD
摘要
申请公布号 JPS53116773(A) 申请公布日期 1978.10.12
申请号 JP19770031262 申请日期 1977.03.22
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 NOZAKI MASAHIKO
分类号 H01L29/93;H01L21/22;H01L21/225;H01L21/265 主分类号 H01L29/93
代理机构 代理人
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