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发明名称 SELECTIVE OXIDATION METHOD OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS53116779(A) 申请公布日期 1978.10.12
申请号 JP19770031105 申请日期 1977.03.23
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MIMURA TAKASHI
分类号 H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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