发明名称 INSB POLYCRYSTAL THIN FILM OF LOW NOISE
摘要
申请公布号 JPS53116068(A) 申请公布日期 1978.10.11
申请号 JP19770030328 申请日期 1977.03.22
申请人 HITACHI LTD 发明人 SHIGETA JIYUNJI;OOI TOORU;KODERA NOBUO;NAKASHIMA MUNEYASU;MIYAMOTO NOBUO
分类号 H01L43/10;H01L21/18 主分类号 H01L43/10
代理机构 代理人
主权项
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