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发明名称 ELECTRODE FORMING METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS53116072(A) 申请公布日期 1978.10.11
申请号 JP19770030638 申请日期 1977.03.18
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 AZUMA AKIYOSHI
分类号 H01L21/60;H01L21/28 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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