发明名称 ION IMPLANTING METHOD
摘要
申请公布号 JPS53115172(A) 申请公布日期 1978.10.07
申请号 JP19770030685 申请日期 1977.03.17
申请人 SANYO ELECTRIC CO 发明人 TODA TADAO
分类号 H01J37/317;H01L21/265 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
主权项
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