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发明名称
JIG FOR DIFFUSION FURNACE
摘要
申请公布号
JPS53114670(A)
申请公布日期
1978.10.06
申请号
JP19770028675
申请日期
1977.03.17
申请人
TOSHIBA CERAMICS CO
发明人
INOUE SUSUMU;TAKEDA SHIGEKATSU
分类号
H01L21/673;H01L21/22;H01L21/68
主分类号
H01L21/673
代理机构
代理人
主权项
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