| 发明名称 |
DIFFUSION CLEANING JIG FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS53114678(A) |
申请公布日期 |
1978.10.06 |
| 申请号 |
JP19770028674 |
申请日期 |
1977.03.17 |
| 申请人 |
TOSHIBA CERAMICS CO |
发明人 |
INOUE SUSUMU;TAKEDA SHIGEKATSU |
| 分类号 |
H01L21/304;H01L21/22;H01L21/302 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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