发明名称 SAMPLE MOVER OF ELECTRIC STRAIN TYPE
摘要 PURPOSE:To fix and move highly precisely a sample without any external stress with the use of a sample by making it possible to interchange into the opposite polarity the voltage between a sample table and an electrostatic clutch and the sample.
申请公布号 JPS53114444(A) 申请公布日期 1978.10.05
申请号 JP19770027973 申请日期 1977.03.16
申请人 HITACHI LTD 发明人 ISHIKAWA KIYOSHI;HOKOTANI YOSHIO
分类号 G02B7/00;B01L9/02;B01L99/00;G02B7/04;G02B7/28;G02B21/26;G02B27/00;G12B5/00 主分类号 G02B7/00
代理机构 代理人
主权项
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