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发明名称
PROCESS OF PHOTOELECTRIC CONVERSION TARGET
摘要
申请公布号
JPS53114373(A)
申请公布日期
1978.10.05
申请号
JP19770028010
申请日期
1977.03.16
申请人
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO
发明人
YOSHIDA OKIO;HAYASHIMOTO YOSHIAKI;CHIYOUEI ISAO
分类号
H01J9/233;H01L31/08
主分类号
H01J9/233
代理机构
代理人
主权项
地址
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