发明名称 PHOTORESIST METERING AND FEEDING-OUT APPARATUS
摘要
申请公布号 SU627331(A1) 申请公布日期 1978.10.05
申请号 SU19752166276 申请日期 1975.08.21
申请人 SHMELEV NIKOLAJ ,SU;SHTRAUSE LILIYA S,SU;BURAVTSEV ANATOLIJ T,SU 发明人 SHMELEV NIKOLAJ ,SU;SHTRAUSE LILIYA S,SU;BURAVTSEV ANATOLIJ T,SU
分类号 G01F13/00;(IPC1-7):G01F13/00 主分类号 G01F13/00
代理机构 代理人
主权项
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