发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要 PURPOSE:To readily remove contact defect by gas flow in a C-MOS IC by making positive use of the junction short phenomenon of shallow diffused layers by Al electrode wirings.
申请公布号 JPS53113482(A) 申请公布日期 1978.10.03
申请号 JP19770028246 申请日期 1977.03.15
申请人 FUJITSU LTD 发明人 INAYOSHI KATSUYUKI;SHINGUU MASATAKA
分类号 H01L21/28;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/43;H01L29/78 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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