发明名称 MANUFACTURE FOR MIS TYPE SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS53112679(A) 申请公布日期 1978.10.02
申请号 JP19770027022 申请日期 1977.03.14
申请人 HITACHI LTD 发明人 TAIRA YASUO;INOMATA FUJIHIKO
分类号 H01L29/78;H01L21/265;H01L29/06 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
地址