| 发明名称 |
METHOD OF MAKING CARBON FILMS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS53108895(A) |
申请公布日期 |
1978.09.22 |
| 申请号 |
JP19770023976 |
申请日期 |
1977.03.07 |
| 申请人 |
PIONEER ELECTRONIC CORP |
发明人 |
TSUKAGOSHI NOBUHIRO;TOUMA TERUO;YOKOZEKI SHINICHI |
| 分类号 |
C04B35/52;C01B31/04;C23C16/26;C30B28/14;C30B29/02 |
主分类号 |
C04B35/52 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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