发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS53108768(A) 申请公布日期 1978.09.21
申请号 JP19770023628 申请日期 1977.03.04
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 YAMASHITA SOUICHIROU
分类号 H01L29/872;H01L21/283;H01L29/47 主分类号 H01L29/872
代理机构 代理人
主权项
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