| 发明名称 |
MANUFACTURE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS53108386(A) |
申请公布日期 |
1978.09.21 |
| 申请号 |
JP19770022680 |
申请日期 |
1977.03.04 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
ITOU YOUKICHI;TAKEDA EIJI;HORIUCHI KATSUTADA;HAGIWARA TAKAKATSU;KONDOU RIYUUJI;UCHIUMI CHIKATAKE |
| 分类号 |
H01L23/52;H01L21/265;H01L21/3205;H01L21/8247;H01L27/10;H01L29/40;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792 |
主分类号 |
H01L23/52 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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