| 发明名称 |
AUTOMATED INTEGRATED CIRCUIT MANUFACTURING SYSTEM |
| 摘要 |
A computer controlled manufacturing system employing random access semiconductor wafer storage in the fabrication of integrated circuit devices. |
| 申请公布号 |
AU2334777(A) |
申请公布日期 |
1978.09.21 |
| 申请号 |
AU19770023347 |
申请日期 |
1977.03.17 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. |
发明人 |
GEORGE ANTHONY CACCOMA;PAUL PHILIP CASTRUCCI;WILLIAM OTTO DRUSCHEL |
| 分类号 |
B23Q41/00;G01R31/26;G01R31/28;G05B19/418;G06F19/00;H01L21/677;H01L21/68 |
主分类号 |
B23Q41/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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